封裝區

在半導(dao)體和集成電(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)的(de)生產過程中(zhong)，濕度(du)過大(da)會(hui)對焊接工藝(yi)造成不利影響(xiang)，使(shi)不良(liang)品(pin)增多。刻蝕(shi)過程中(zhong)，人們(men)會(hui)使(shi)用(yong)一種叫(jiao)做光刻膠的(de)光敏高(gao)分(fen)子混合液覆蓋電(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)引(yin)線。具有吸(xi)濕性的(de)光刻膠會(hui)吸(xi)收水分(fen)，致(zhi)使(shi)微電(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)引(yin)線被錯(cuo)誤切斷(duan)或(huo)連通(tong)，導(dao)致(zhi)電(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)故障。

晶圓制造區

晶(jing)圓(yuan)加工過程中(zhong)，旋(xuan)涂機會(hui)將(jiang)顯影劑(ji)噴射在晶(jing)圓(yuan)表(biao)(biao)面(mian)(mian)，使晶(jing)圓(yuan)表(biao)(biao)面(mian)(mian)的溶劑(ji)迅速蒸發，以達到為晶(jing)圓(yuan)表(biao)(biao)面(mian)(mian)降溫(wen)(wen)的效果。同時，這也會(hui)導(dao)致(zhi)空(kong)氣(qi)中(zhong)的水蒸汽(qi)在晶(jing)圓(yuan)表(biao)(biao)面(mian)(mian)凝結成水滴。晶(jing)圓(yuan)表(biao)(biao)面(mian)(mian)濕度過大會(hui)導(dao)致(zhi)顯影劑(ji)的化學(xue)特性發生改(gai)變(bian)。光刻(ke)膠同樣(yang)也會(hui)吸(xi)收水分，導(dao)致(zhi)高(gao)分子聚合(he)物成分膨脹。通過控制相對濕度，便可保證晶(jing)圓(yuan)表(biao)(biao)面(mian)(mian)溫(wen)(wen)度不會(hui)低于周(zhou)圍(wei)空(kong)氣(qi)露點(dian)溫(wen)(wen)度，從(cong)而防止故障和損壞。

光刻間

光刻間過(guo)于潮濕會導(dao)致(zhi)二氧化硅吸收水分、光刻膠粘連不當，造成(cheng)晶圓在(zai)應力作用下(xia)產生斷裂和表面缺陷(xian)。

加快真空泵老化

如果濕度水平過(guo)高(gao)，低(di)溫泵等真(zhen)空(kong)設備(bei)會(hui)因空(kong)氣(qi)中存(cun)在大量水蒸汽而(er)出現轉速降低(di)的情(qing)況。相對(dui)濕度降低(di)后，批處理速度就可以(yi)得到提升，從而(er)促(cu)進生產(chan)效(xiao)率的提升。

保護外延設備

水蒸(zheng)汽(qi)或水分凝(ning)結在低溫的外延設備表面，會使設備部件受到(dao)腐蝕，導(dao)致運行故障并降低處理(li)速度。

除了可以實(shi)現理想的空(kong)氣(qi)(qi)條(tiao)件，蒙特還可提供用于消除廢氣(qi)(qi)中揮發(fa)性(xing)有(you)(you)機化合(he)物（VOC）的 Zeol VOC 減(jian)排(pai)(pai)系列產品。半(ban)導體(ti)加工過程中排(pai)(pai)出的廢氣(qi)(qi)中含(han)有(you)(you) VOC。它(ta)對人體(ti)健康和(he)環境有(you)(you)害，因(yin)此有(you)(you)關部門要(yao)求減(jian)少(shao)這種物質的排(pai)(pai)放量。沸石(shi)轉輪濃(nong)縮設備(bei)可首先將 VOC 進行高效濃(nong)縮，從而大(da)大(da)降低(di)減(jian)排(pai)(pai)成本。

對于每(mei)分每(mei)秒都在(zai)(zai)追(zhui)求生(sheng)產(chan)進(jin)度(du)的(de)半導體(ti)工業來說(shuo)，轉輪濃(nong)縮系統(tong)的(de)更大優(you)勢在(zai)(zai)于其(qi)具有(you)(you)高度(du)可(ke)靠性，可(ke)在(zai)(zai)壓(ya)力波動更低的(de)情況(kuang)下(xia)穩定排放廢氣，大大節省(sheng)運(yun)營成本。蒙特系統(tong)可(ke)將包(bao)含低濃(nong)度(du) VOC 的(de)大量廢氣壓(ya)縮成低濃(nong)度(du)的(de)液體(ti)，再利用氧化(hua)劑進(jin)行(xing)經(jing)濟高效的(de)燃燒去(qu)除。系統(tong)壓(ya)降較小，有(you)(you)助于排氣扇節約能源成本。

蒙特沸石(shi)轉輪濃縮設(she)備系(xi)統(tong)在 VOC 減排方面處于技術**地位。目前安(an)裝該系(xi)統(tong)的(de)包(bao)括一些世界知名企(qi)業，現已有(you)200多套系(xi)統(tong)在為我們(men)的(de)客戶提供服務。

蒙特(te)是研(yan)究(jiu) VOC 疏水沸石吸收(shou)技術的先(xian)驅者(zhe)。蒙特(te) VOC 減排系(xi)統(tong)可(ke)實現(xian) 95% 以(yi)上(shang)的 VOC 燃燒去除率(lv)（DRE），而其(qi)燃料費用與僅使用氧化劑相比可(ke)降低 30-50%。

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